SETO 1.60 Фотохромдук линза SHMC

1) Spin каптоо деген эмне?

Spin каптоо жалпак субстраттарга бирдей жука пленкаларды салуу үчүн колдонулган процедура.Көбүнчө субстраттын ортосуна аз өлчөмдөгү каптоочу материал колдонулат, ал аз ылдамдыкта айланган же такыр айланбайт.Андан кийин субстрат 10 000 айн/мин ылдамдыкта айланат, центрифугалык күч менен каптоо материалын жайышат.Айдоочу каптоо үчүн колдонулган машина спиннер же жөн эле спиннер деп аталат.
Айлануу суюктук субстраттын четтеринен айланганда, пленканын каалаган калыңдыгына жеткенге чейин улантылат.Колдонулган эриткич, адатта, учуучу болуп саналат жана бир эле учурда бууланат.Айлануунун бурчтук ылдамдыгы канчалык жогору болсо, пленка ошончолук ичке болот.Пленканын калыңдыгы эритменин илешкектүүлүгүнө жана концентрациясына жана эриткичке да көз каранды.[2]Айлануу каптоосунун пионердик теориялык анализин Эмсли жана башкалар жүргүзгөн жана аны кийинки көптөгөн авторлор кеңейткен (анын ичинде Уилсон ж.б., [4] спиндик каптоодо таралуу ылдамдыгын изилдеген; жана Данглад-Флорес ж.б., [5] чөккөн пленканын калыңдыгын алдын ала айтуу үчүн универсалдуу сыпаттаманы тапкан).
Spin каптоо сол-гель прекурсорлорунун жардамы менен айнек же монокристаллдык субстраттарда функционалдык оксид катмарларын микрофабрикалоодо кеңири колдонулат, мында аны наноөлчөмдүү калыңдыктар менен бирдей жука пленкаларды түзүү үчүн колдонсо болот.[6]Ал фотолитографияда интенсивдүү түрдө колдонулат, калыңдыгы 1 микрометрге жакын фоторезисттин катмарларын салуу үчүн.Фоторезист, адатта, секундасына 20дан 80ге чейин айлануу менен 30дан 60 секундга чейин айланат.Ошондой эле полимерлерден жасалган тегиздик фотоникалык түзүлүштөрдү жасоодо кеңири колдонулат.
Жука пленка менен каптоо үчүн артыкчылыктардын бири пленканын калыңдыгынын бирдейлиги болуп саналат.Өз алдынча тегиздөөнүн аркасында калыңдыктар 1% дан ашпайт.Бирок, полимерлердин жана фоторезисттердин калың пленкаларын айлануу каптоо, планаризациясы физикалык чектерге ээ болгон салыштырмалуу чоң жээк мончокторуна алып келиши мүмкүн.